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產(chǎn)品名稱:LTC600 光譜共焦位移傳感器
品牌:無(wú)錫泓川科技
型號(hào):LTC600(超精密型)
泓川光譜共焦傳感器光斑直徑8um精度0.2um
泓川光譜共焦傳感器光斑直徑8um精度0.2um
LTC600光譜共焦位移傳感器是無(wú)錫泓川科技推出的高精度非接觸式測(cè)量解決方案,專為工業(yè)檢測(cè)與精密制造場(chǎng)景設(shè)計(jì)?;谙冗M(jìn)的光譜共焦技術(shù),其具備亞微米級(jí)測(cè)量精度、超小光斑直徑及抗干擾能力強(qiáng)等核心優(yōu)勢(shì),適用于鏡面、透明/半透明材料、多層膜厚、深孔內(nèi)壁等復(fù)雜表面及高反光場(chǎng)景的精密測(cè)量。
超高精度
靜態(tài)噪聲低至 16nm,線性誤差 <±0.18μm,確保重復(fù)性與穩(wěn)定性。
光斑直徑僅 Φ8μm(聚焦型),可精準(zhǔn)捕捉微觀形變與邊緣特征。
復(fù)雜場(chǎng)景適應(yīng)性
支持 ±32.5° 超大測(cè)量角度,輕松應(yīng)對(duì)曲面、深孔、內(nèi)壁等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。
兼容鏡面、透明材料(如玻璃、薄膜)、多層膠合體等,實(shí)現(xiàn)多層厚度同步測(cè)量。
高速響應(yīng)
采樣速率高達(dá) 30kHz,滿足動(dòng)態(tài)高速檢測(cè)需求,如晶圓位置校準(zhǔn)、產(chǎn)線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
緊湊耐用
外徑僅 φ20×110mm,重量 73g,輕量化設(shè)計(jì)適配狹小空間安裝。
抗環(huán)境光干擾,適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)復(fù)雜工況。
參數(shù) | 指標(biāo) |
---|---|
測(cè)量范圍 | ±0.3mm |
參考距離 | 20mm |
光斑直徑(聚焦型) | Φ8μm |
線性誤差 | <±0.18μm |
靜態(tài)噪聲 | 16nm |
采樣速率 | 最高30kHz |
工作溫度 | 0°C ~ +50°C |
接口支持 | USB/RS485/以太網(wǎng)/模擬量/數(shù)字量 |
精密制造:晶圓位置校準(zhǔn)、金屬部件跳動(dòng)量檢測(cè)、模具磨損監(jiān)測(cè)。
透明材料檢測(cè):玻璃管壁厚度、多層膠合玻璃/膜層厚度測(cè)量。
3C行業(yè):曲面屏輪廓掃描、手機(jī)屏幕平整度檢測(cè)。
自動(dòng)化產(chǎn)線:涂布厚度控制、壓延玻璃實(shí)時(shí)測(cè)厚。
控制器支持:多通道同步測(cè)量(單通道10kHz),兼容EtherCAT、Modbus等工業(yè)協(xié)議,提供PC端軟件及二次開(kāi)發(fā)包,無(wú)縫集成自動(dòng)化系統(tǒng)。
定制服務(wù):可根據(jù)需求提供側(cè)向出光(LTCR系列)等特殊型號(hào),適配深孔、內(nèi)壁檢測(cè)場(chǎng)景。
無(wú)錫泓川科技專注光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域,LTC600以納米級(jí)標(biāo)定驗(yàn)證與工業(yè)級(jí)可靠性,為高DUAN制造、半導(dǎo)體、3C等行業(yè)提供精準(zhǔn)、高效的測(cè)量保障。支持定制化服務(wù),滿足多樣化檢測(cè)需求。
關(guān)鍵詞:光譜共焦傳感器、非接觸測(cè)量、亞微米精度、透明材料測(cè)厚、工業(yè)自動(dòng)化
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