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表面體積電阻率測試儀對樣品有什么要求？
表面體積電阻率測試儀對樣品的主要要求如下：
一、表面體積電阻率測試儀幾何尺寸規(guī)范
?標準試樣尺寸?
圓形平板：直徑φ100mm或φ50mm
方形平板：100×100mm2或50×50mm2
管狀試樣：長度100mm或50mm
基材厚度≥0.50mm時優(yōu)先采用100×100mm2規(guī)格
?厚度要求?
常規(guī)固體材料：2-4mm（ASTM D257標準）
薄膜材料：需使用非接觸式厚度儀測量5個點取平均值，誤差≤±0.02mm
二、表面體積電阻率測試儀表面處理要求
?清潔規(guī)范?
使用異丙醇與去離子水（3:1）混合液擦拭表面
特殊污染物需用400目氧化鋁拋光膏處理，處理后接觸電阻<0.1Ω
?干燥條件?
105℃烘箱干燥2小時以消除靜電
平衡處理：在23±2℃、50±5%RH環(huán)境下靜置24小時
三、表面體積電阻率測試儀特殊材料要求
?復合材料?
需分層測試并記錄層間接觸電阻
半導體材料需采用四點探針法消除邊緣效應
?納米涂層/薄膜?
實施多點采樣法，每個樣品至少選取5個測試點
安裝時需使用真空吸附裝置避免氣泡干擾
四、表面體積電阻率測試儀電極制備標準
?導電層處理?
覆銅箔面采用蝕刻法制備標準電極圖形
未覆銅面需涂覆導電銀漆，涂層厚度≤50μm
?特殊形狀樣品?
管狀樣品需保證電極覆蓋周長≥90%
不規(guī)則試樣需通過機械加工獲得平行測試面
五、表面體積電阻率測試儀數(shù)量與質(zhì)量控制
常規(guī)測試需≥3個有效樣品
高精度測量時每組數(shù)據(jù)需連續(xù)記錄3組穩(wěn)定值，偏差>10%需復測
注：以上要求綜合GB/T 1410、IEC 60093及ASTM D257等標準制定，實際測試應根據(jù)具體材料特性調(diào)整參數(shù)。
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