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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 爐體結(jié)構(gòu) | 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面，和通過對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果 連續(xù)工作溫度∶1100℃ 兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序 |
| 等離子體射頻電源 | 輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005% 射頻頂值功率∶ 500W 匹配∶ 自動(dòng)匹配 噪音∶<50 dB. 冷卻∶空氣冷卻 輸入電源∶208-240VAC， 單相， 50/60Hz |
| 真空系統(tǒng) | 采用vRD-16的雙旋真空泵， 極限真空10E-3 Torr KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr |
| 質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng) | 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)（精度1.5%）∶ 數(shù)字顯示，自動(dòng)控制. MFC1范圍∶ 0~100 sccm MFC2和3∶ 0~200 sccm MFC4范圍∶ 0~500 sccm 一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口. 4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體. 進(jìn)氣口∶4個(gè)1/4NPS. 出氣口∶4個(gè) 1/4NPps. 采用PLc控制流量計(jì)，通過觸摸屏進(jìn)行控制 可選購氣液混合裝置，用于cvD系統(tǒng) |
| 爐管&密封法蘭 | 高純石英管，尺寸50毫米 O.D x 44毫米 I.D x 1800 毫米 L 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計(jì) |
| 防腐型真空計(jì) | 輸入電源 24v，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器） 測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr. 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr 接頭 KF16 接頭 產(chǎn)品尺寸46mm×28mm×126mm（長x寬x高） |
| 循環(huán)手套箱 | 手套箱尺寸∶ 780mm（L）x700mm（W）×650mm（H） 帶有除水系統(tǒng)∶保持水含量<2 ppm -真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接 |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 所有電器元件（輸入電話員<24V）都通過連UL/MET/CSA認(rèn)證 |