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產品簡介
詳細介紹
| 特點 | 與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進行氣相沉積實驗可以通過爐體滑動達到快速升溫和降溫 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制通過工藝調節(jié)來控制化學計量 可以沉積各種材料，如SiOx.SiNx.SiOxNy和（a-SiH） 等 |
| 開啟式管式爐 | 輸入電源∶208-240V AC，功率;1.2kW 工作溫度頂值1200℃，小于60分鐘 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點擊文字了解涂層的詳細參數(shù)） 連續(xù)工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設置30段升降溫程序，并且?guī)в羞^熱和斷偶保護功能 加熱區(qū)長度∶200mm 單溫區(qū) 恒溫區(qū)2.3"（60mm）（+-15℃）@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測里結果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員 |
| 等離子體射頻電源 | 輸出功率：5 .300W 可調 穩(wěn)定性±1% 射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005% 反向功率頂值∶ 200W 匹配∶ 自動 射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω，N型半導體，陰極 噪音∶ <50 dB. 冷卻∶風冷 電源∶208-240VAC，50/60HZ |
| 真空法蘭和接頭 | 真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥 |
| 真空泵及水冷機 | AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴散到空氣中，保護環(huán)境和人體健康） 真空度∶ 10-2 torr 可選水冷機 |
| 產品尺寸和重量 | 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm （長x寬x高） 凈重∶160kg |
| 質保期 | 年質保期，終身維護（相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件） |
| 質量認證 | CE Certified |
| 使用注意事項： | 工作時需連接水冷設備 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由干氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200sCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |