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產(chǎn)品簡介
1000°C小型RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“石英管和真空法蘭，它是專為半導體和太陽能電池基片（頂值為3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱快速升溫的頂值速度為50°C/秒，30段溫度控制，精度為+/-1°C，計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線。
詳細介紹
| 爐體結構 | 雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷） 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 |
| 加熱元件 | 8根紅外燈管 （D=10 L=300 T=200，mm） |
| 加熱區(qū) | 12" length with 4"X12"恒溫區(qū)（+/-5℃） |
| 石英管和樣品架 | 石英管尺寸∶4.33" O.Dx4.05"LDx15"Length"的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料一片3" AIN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。 AN 具有很高的熱導率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+-5℃ |
| 真空法蘭 | 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫"O"型圈密封滑骨動法蘭使裝載樣品很容易.3" 樣品架和內插式熱偶保證了溫度的準確。 |
| 水冷 | 如果要求通冷卻水. 請確定冷卻水流速≥ 3L/min，水溫< 20℃C;水壓>25 PSI我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）. 警告∶這款 RTP 爐在1000℃～1100℃C下保溫時間不超過600秒，否則"O°圈將被燒融 |
| 流量計 | 范圍∶ 16- 160 ml/min |
| 真空表 | 標配∶數(shù)字真空表，測量范圍;10mtorr~800 tor。注意∶此表是在氮氣下校準的，只有在氮氣和空氣下表上顯示的是實際壓力，當通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會很嚴重。 向選∶本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-.5至1125Torn.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。 |
| 真空度 | 用機械泵真空度達 50 mtorr. 用分子泵真空度可達 10-4 tor. |
| 溫度控制 | PID 自動控制，可控硅 SCR |
| 熱偶 | 進口K 型熱偶，緊貼在放樣品的AIN片下。 |
| 溫度儀 | PID自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護功能熱偶∶進口K type自整定功能控溫精度∶ +/- 1°℃ RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購） |
| 升溫速度頂值 | 室溫~800℃∶ 50C/sec，800℃~1000℃∶ 10C/sec |
| 升溫曲線 | 直接升溫到1000℃;分階段升溫數(shù)據(jù) |
| 降溫速度頂值 | 60℃/min （在 200 mtorr下， 117℃/min（在一個大氣壓下） 選擇∶為得到較快的降溫速度<10℃/秒，你可以選擇帶滑軌的 RTP爐 |
| 溫度 | 溫度頂值1100℃，額定1000℃ |
| 電源 | 208-240 AC，50/60 Hz 單相， 功率頂值9KW （> 60A 保險） |
| 注意 | 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE（快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE） |
| 尺寸 | 760 X330 X 530 mm (30"Wx13"Lx21"H) |
| 重量 | 45 kg (100 Ibs) |
| 保修期 | 電器部分一年質保期 （耗材∶如爐管，"O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內） |
| 認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過了ULMET/CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
| 國家 | 名稱∶一種快速高溫退火爐編-2011-2-0077168.4尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權必究 |
| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相，保在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200sCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |