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如何進(jìn)行平衡檢測？

假設(shè)系統(tǒng)已經(jīng)采集了一個點(diǎn)，并且已經(jīng)準(zhǔn)備好進(jìn)行下一個目標(biāo)壓力和吸

附量的測定。先在歧管內(nèi)注入一定量的氣體，預(yù)計(jì)能夠使系統(tǒng)壓力達(dá)到目標(biāo)壓力值。但由于歧管和樣品管連通后樣品對氣體的吸附，系統(tǒng)會產(chǎn)生壓降，此時可以用兩個參數(shù)來判定系統(tǒng)是否達(dá)到目標(biāo)壓力且達(dá)到平衡，分別是平衡間隔和壓力容忍度。

平衡間隔是對壓力在一定的范圍內(nèi)保持穩(wěn)定的時間范圍的定義，而容忍

度定義的是實(shí)際壓力與目標(biāo)壓力間的可被接受的誤差范圍。

若以壓力表的模式進(jìn)行物理吸附分析，進(jìn)行平衡檢測時，首先向系

統(tǒng)內(nèi)注入一定量的氣體，預(yù)計(jì)可使系統(tǒng)壓力達(dá)到目標(biāo)壓力，但隨著樣品對氣體的吸附，在一定的延遲時間內(nèi)，壓力逐步降低，甚至超出壓力容忍度的范圍，于是需要再次注入一定量的氣體使壓力恢復(fù)到初始壓力，如此反復(fù)，直至壓力能夠保持在容忍度范圍之內(nèi)。

若以低壓進(jìn)氣模式進(jìn)行物理吸附分析，則不需要考慮壓力容忍度，在進(jìn)

氣后，直接追蹤進(jìn)氣量和測試平衡間隔時間內(nèi)的壓力衰變速率。

飽和蒸氣壓的確定方法有哪些？

飽和蒸氣壓可以通過靜態(tài)體積法儀器直接測量，也可從冷浴溫度和氣體

的物理參數(shù)中計(jì)算得出，還可通過其他設(shè)備測定，將測定值直接輸入到物理吸附測試文件中便于計(jì)算。飽和蒸氣壓的值將用于計(jì)算相對壓力P/P0。

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