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            青島芯笙微納電子科技有限...

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            氣體質(zhì)量流量于實驗室行業(yè)中的應(yīng)用

            閱讀:2845      發(fā)布時間:2022-5-16
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               公司簡介 

                青島芯笙微納電子科技有限公司位于青島市嶗山區(qū),毗鄰山東大學(xué)青島校區(qū)、北航青島微電子研究院、中科院青島能源所等研究機構(gòu),是一家專業(yè)從事氣體流量傳感器和流量測控儀表開發(fā)的高新技術(shù)企業(yè),公司團隊核心成員來自新加坡、比利時、中科院等著名MEMS研究機構(gòu)。公司與新加坡科技局微電子研究院、上海微技術(shù)工業(yè)研究院等單位建立了長期戰(zhàn)略合作關(guān)系,與山東大學(xué)和北航微電子研究院在新型傳感器芯片開發(fā)方面具有密切合作關(guān)系。

             

                青島芯笙將繼續(xù)專注在微小氣體流量測控領(lǐng)域,致力于為客戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品和專業(yè)化服務(wù),以質(zhì)量和信譽為本加強管理,為推動國產(chǎn)分析儀器、半導(dǎo)體裝備的發(fā)展作出貢獻。

               制造和標(biāo)定平臺
                 制造平臺具有80余臺傳感器自動化生產(chǎn)設(shè)備和可靠性測試設(shè)備以及9000平米千級無塵封測車間,具備ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質(zhì)管理和制造認證。

                在標(biāo)定和校準(zhǔn)環(huán)節(jié),擁有活塞標(biāo)準(zhǔn)流量裝置(精度0.3%)、音速噴嘴標(biāo)準(zhǔn)流量裝置(精度0.13%)、美國福祿克Molbox流量設(shè)備(精度0.125%)等多臺設(shè)備,確保產(chǎn)品精度。

             

            概述:結(jié)合國家近兩年對科研、高校、研究院所等行業(yè)的持續(xù)投入,高精尖用氣設(shè)備越來越多,用氣量也逐年增加,對氣體流量的精確計量控制需求也越來越多。青島芯笙以微機電系統(tǒng)(MEMS)為基礎(chǔ),推出多款適用于實驗室領(lǐng)域的高性能氣體質(zhì)量流量計(MFM) 和氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品。

             

               合作伙伴

            PART01

            實驗室常用氣體的分類

            、根據(jù)用途分類

            一是能源動力氣體。在實驗室中,部分氣體用來提供能源,如天然氣、煤氣、液化氣、氫氣、乙炔等,有的提供動力,如壓縮空氣、氮氣。

            二是試驗用原材料。實驗室常用部分氣體作為試驗用原材料,如化學(xué)反應(yīng)實驗使用的氯氣、一氧化氮氣體、氧氣、氫氣等。

            三是實驗儀器輔助用氣。實驗室中部分試驗或儀器需要高純保護氣體,如氣相色譜、氣質(zhì)聯(lián)用、原子吸收、ICP等精密儀器使用的高純不燃氣體(氮氣、二氧化碳)、惰性氣體(氦氣、氬氣)、助燃氣體(氧氣)等。

             

            二、依據(jù)化學(xué)性質(zhì)分類

            一是有毒有害氣體。具有毒性和腐蝕性。

            二是易燃易爆氣體。具有易燃燒性和化學(xué)爆炸危險性,如氫氣、乙炔等,有的易燃易爆氣體還具有一定毒性。

            三是助燃氣體。具有助燃能力,但自身不燃燒,此類氣體的存在增大火災(zāi)的危險性,如氧氣等。 

            四其他氣體。不具備上述三種性質(zhì)的氣體,如惰性氣體、二氧化碳等。

             

             

            PART02

            常規(guī)分析實驗室儀器的一般用氣配備

            1. 氣相色譜:H2   N2   He   Air

            2. 液相質(zhì)普:N2   CDA

            3. 原子吸收:火焰法:Air+C2H2  /  N20+C2H2  石墨爐法:Ar+02  /  Ar+Air

            4. VOC檢測:Air   Ar   He

            5. ICP-MS: (N2)  Ar  Air (He)

            6. 液質(zhì)聯(lián)用:N2

            7. X熒光光譜儀:Ar/CH4   He

            8. 等離子發(fā)射光譜:N2   Ar

            9. 元素分析儀:O2   He

            10. 碳硫分析儀:O2   N2

            11. 測汞儀:Ar Air

            12. 測硫儀:O2

            13. 發(fā)熱量測定儀:O2

            14. 離子質(zhì)譜:He   離子色譜:N2

            15. 四極桿和TFO:He

            16. 生物反應(yīng)器:Air   CO2    O2    N2

            17. 三重四極:N2   H2

            18. 超臨界薈萃:CO2

            19. 微波多態(tài)合成:N2  Ar

            20. 核磁共振儀:N2   CDA   He

            21. 化學(xué)合成:CDA

            22. 球礦團還原-膨脹試驗儀:N2   煤氣LPG(流量較大,主管至少使用3/8”)

            23. 太陽能電池反應(yīng)用氣:Ar  N2  He  NH3  CF4  N2O  H2  SiH4

                                      SiH2CL2  SiH2CL3  SiHCL4等

             

             

            青島芯笙MFM-50系列氣體質(zhì)量流量計專門用于氣體流量的高精度測量。該系列流量計采用業(yè)內(nèi)先進流量傳感芯片,結(jié)合航空鋁材拋光氣體流道設(shè)計,配合公司核心的標(biāo)定和補償算法,實現(xiàn)對各類潔凈干燥、無腐蝕性氣體的高精度流量測量。該產(chǎn)品20SLM以內(nèi)典型精度為1%,50SLM典型精度為1.5%,量程比均優(yōu)于100:1, 此系列產(chǎn)品的量程從100SCCM到800SLM可選(其它量程可咨詢定制),并配有液晶屏顯示、數(shù)字和模擬輸出,方便用戶現(xiàn)場和遠程調(diào)試。該產(chǎn)品成本低、易安裝、不需要額外溫度和壓力補償,適用于實驗室行業(yè)惰性氣體計量。

             

             

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