真空計(jì)的類別
真空鍍膜機(jī)中使用的真空計(jì)有電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)。以下是對這些真空計(jì)的工作原理和特點(diǎn)的簡要介紹：
電阻真空計(jì)
電阻真空計(jì)是一種熱傳導(dǎo)真空計(jì)，通過測量熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。它利用低壓下氣體的熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)相關(guān)的原理。電阻真空計(jì)的結(jié)構(gòu)包括一個(gè)加熱燈絲（通常使用鎢絲或鉑絲）和一個(gè)電阻溫度系數(shù)較大的熱絲。在恒定的加熱電流條件下，當(dāng)真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)降低時(shí)，熱絲的電阻值增大，從而可以間接確定壓強(qiáng)的大小。
熱偶真空計(jì)
熱偶真空計(jì)的規(guī)管由加熱燈絲和熱電偶組成。熱電偶通常由鉑銠或康銅-鎳鉻制成。熱偶真空計(jì)利用熱電偶的溫度變化來測量壓強(qiáng)的變化。當(dāng)氣體的壓強(qiáng)降低時(shí)，熱電偶接點(diǎn)的溫度隨熱絲溫度的升高而增大，從而熱電偶的電動勢也增大。通過測量熱電偶的電動勢變化，可以間接確定真空度的大小。
電離真空計(jì)
電離真空計(jì)是目前廣泛使用的真空測量計(jì)，利用氣體分子電離的原理進(jìn)行真空度測量。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計(jì)分為熱陰極電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)。熱陰極電離真空計(jì)包括普通型、超高真空型和低真空型。電離真空計(jì)的工作原理是通過發(fā)射極發(fā)射電子，經(jīng)過加速極加速并收集電子，電子在加速極和收集極之間反復(fù)運(yùn)動，并與氣體分子發(fā)生碰撞，使氣體分子電離產(chǎn)生正離子。通過測量正離子的電流大小，可以確定真空室中的氣體壓強(qiáng)。
對于真空鍍膜機(jī)而言，采用電離真空計(jì)可以快速連續(xù)地測量待測氣體的總壓強(qiáng)，而且電離計(jì)規(guī)管體積小、易于連接。然而，需要注意的是，在高于10-1Pa的高壓強(qiáng)下使用電離計(jì)會降低規(guī)管壽命甚至導(dǎo)致?lián)p壞，因此應(yīng)避免在高壓強(qiáng)下工作。此外，當(dāng)真空系統(tǒng)暴露于大氣環(huán)境或使用一段時(shí)間后，電離計(jì)規(guī)管的內(nèi)表面和電極可能會吸附氣體，影響真空測量的準(zhǔn)確性，因此需要定期進(jìn)行規(guī)管的除氣處理。
在真空鍍膜領(lǐng)域，青島芯笙自主研發(fā)的V100系列電容式陶瓷薄膜真空計(jì)發(fā)揮著重要作用。
V100系列產(chǎn)品是基于德國E+H進(jìn)口陶瓷傳感器芯片開發(fā)的一款高精度電容式真空計(jì)/薄膜真空規(guī),采用陶瓷電容薄膜片,防腐蝕超純陶瓷傳感器由99.9% 超高純度AL203 氧化鋁陶瓷材質(zhì)制成。可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。基于膜片與固定電極之間的電容變化測量壓力大小。具有響應(yīng)快速,抗過載能力強(qiáng),量程寬,精度高等特點(diǎn)?？捎糜诠夥⒄婵斟兡?、MPCVD、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。青島芯笙自研的V100系列產(chǎn)品無疑是業(yè)界的選擇。
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