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			一種MEMS質(zhì)量流量控制器
			
            
			
			
            
				
            
					
            發(fā)證機(jī)構(gòu)：
            
					
            國家知識產(chǎn)權(quán)局

            
				                      
            生效日期：
            2021-10-22

            
                                    
            截止日期：
            長期
            				
				
            認(rèn)證簡介：
					
            一種MEMS質(zhì)量流量控制器
            
				
            
			
            
		
            
		
            
			
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             一種高靈敏度的MEMS流量傳感器            
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             一種真空隔熱的MEMS流量傳感器