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國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的微機(jī)電（MEMS）流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進(jìn)口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。在輸出方面，帶有工業(yè)級(jí)液晶觸控顯示屏，具備流量設(shè)置、瞬時(shí)流量和累積流量顯示等功能。輸出信號(hào)可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號(hào)，以及RS485等數(shù)字通信方式。

國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制