目錄:江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司>>等離子清洗機(jī)>> PT3000等離子清洗機(jī)
| 參考價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間：2025-02-11 17:11:06瀏覽次數(shù)：4628評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,綜合 |
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設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：
1、采用射頻電源、自動(dòng)匹配器，一鍵式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
3、無(wú)環(huán)境污染、無(wú)化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。
設(shè)備的參數(shù)：
腔體材質(zhì) ：鋁合金
供電電源 ： AC220V、1000W
濺射電壓：MAX 2500V
濺射電流：MAX 30mA
靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率： 0-300W可調(diào)
射頻頻率： 13.56MHz
真空度：≤100Pa
氣體路數(shù)：2路
氣體流量：MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) 500SCCM（可調(diào)）
控制： 觸屏
清洗時(shí)間：1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸：≤8寸
內(nèi)腔尺寸：226mm（長(zhǎng)）*126mm（高）*224mm（深）
外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（寬*深*高）
重量：≈38KG
真空泵：飛越ARV-4
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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