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            目錄:江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司>> 臺(tái)式光刻機(jī)

            臺(tái)式光刻機(jī)
            • 臺(tái)式光刻機(jī)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價(jià) 面議
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌
            • 型號(hào)
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 無錫市
            屬性

            >

            更新時(shí)間:2025-03-06 18:10:53瀏覽次數(shù):836評價(jià)

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            臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):1.最大曝光面積:160mm*160mm。⒉.曝光分辨率:1um(膠厚≤0.5um的正膠)。3.對準(zhǔn)精度:±1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)。4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2。5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時(shí))
              臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù):
             
              1.最大曝光面積:160mm*160mm
             
              ⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
             
              3.對準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
             
              4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
             
              5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時(shí))
             
              6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
             
              7.掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
             
              8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
             
              9.掩模尺寸:7英寸,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
             
              10.數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
             
              11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
             
              12.對準(zhǔn)方式:自動(dòng)對準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求,增加對準(zhǔn)標(biāo)記的類型,累計(jì)不超過4組
             
              13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉),含預(yù)對準(zhǔn)定位功能
             
              14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
             
              15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像
             
              16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
             
              17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
             

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