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MF5000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)：
　 - 采用美國微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
　 - 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。
　 - 傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。
　 - 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
　 - 技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。
　 - 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量"和"累計(jì)流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。
　 - 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗干擾能力。
　 - 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
　 - 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。
MF5000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)機(jī)械尺寸：

型號(hào) 通徑
（mm） 接口
（inch） L H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
技術(shù)參數(shù)：
**度         ：  ±(1.5+0.2FS)%
測量管徑      ：  3~19 mm    
使用環(huán)境       ：  溫度: -20~65℃
顯  示           ：  瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量                  
輸出模式       ：  4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準(zhǔn)條件       :   20oC; 101.325 kPa.
工作壓力    ：  1.5MPa
防爆等級    ：  ExiallCT4
防護(hù)等級    ：  IP40
產(chǎn)品選型：
型號(hào) 通徑
(mm) 接口
(inch) 大工作壓力
(MPa) 測量范圍
sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 3.0 15-1500 0.15-15
MF5006 6 1/4" 3.0 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 3.0 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 3.0 3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 3.0 8-800 0.28-28 0.48-48