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產(chǎn)品介紹
輸出：頻率，20 kHz 電壓，+ / - 800 V 功率，120kW
高達(dá) 140 千瓦
中頻/雙極脈沖發(fā)生器 HXB 900 - HXB 1400 將高性能、緊湊型設(shè)計(jì)和快速滅弧結(jié)合在一個穩(wěn)定的控制柜中。這種雙極脈沖發(fā)生器適用于長達(dá) 4 米的陰極反應(yīng)涂層工藝。
陰極功率的自動平衡和不對稱脈沖功率的功率商調(diào)節(jié)器（高達(dá) 10: 90%）優(yōu)化了鍍層質(zhì)量并延長了靶材壽命。發(fā)生器自動記錄所有相關(guān)工藝參數(shù)并不斷調(diào)整其滅弧。調(diào)試或目標(biāo)更改無需手動設(shè)置。即使在非空調(diào)環(huán)境中，強(qiáng)大的水冷系統(tǒng)也能確保最大的可靠性。
特點(diǎn)
輸出功率 90 kW -140 kW
水冷
陰極反應(yīng)涂層工藝長達(dá) 4 米
自動平衡 陰極輸出
不對稱 脈沖功率的功率商控制器（高達(dá) 10: 90%）
全自動電弧管理 （0.3mJ/kW）
工藝重現(xiàn)性
優(yōu)于 2%
常用型號
ADL HXB 900
ADL HXB 1050
ADL HXB 1200
ADL HXB 1400
技術(shù)數(shù)據(jù)
電流調(diào)節(jié)、電壓調(diào)節(jié)或功率調(diào)節(jié)，
電壓控制自動點(diǎn)火
通過接口卡的外部操作模式
精度 + / - 電流、電壓或功率標(biāo)稱值的 1%
脈沖功率分配 10 至 90% 或自動平衡
脈沖頻率 20 kHz，固定
脈沖關(guān)閉時間（消隱時間） 2 µs 至 20 µs（自動調(diào)整）
工作原理 雙極
滅弧自動參數(shù)調(diào)整
刪除時間 <2 µs
電弧能量 <0.3 mJ/kW
德國ADL雙極脈沖發(fā)生器 HXB1200系列功率120kW
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