半導(dǎo)體工藝氣體檢測系統(tǒng),GK6030-BDT型號是一種可移動、可獨(dú)立的采樣系統(tǒng),采用分析柜式結(jié)構(gòu),結(jié)合用戶現(xiàn)場實(shí)際工況,采用樣氣抽取分析式流程設(shè)計(jì)。主要由三部份組成,氫燃料電池檢測模組,進(jìn)口檢測模組,出口檢測模組,全程高溫伴熱191攝氏度方式。采用西門子PLC控制,組態(tài)界面操作,具備自動進(jìn)樣,連續(xù)運(yùn)行、間歇運(yùn)行、控制聯(lián)鎖諸功能。加上配置了智能化分析儀表,具有自動化程度高,數(shù)據(jù)處理快速準(zhǔn)確。測量精度高,響應(yīng)時間快,其測量后的氣體濃度信號可在計(jì)算機(jī)組態(tài)界面監(jiān)控。主要用于半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評價,半導(dǎo)體工藝廢氣、氫燃料電池燃燒氣、煙氣和發(fā)動機(jī)尾氣等成分的定性分析和定量研究,也可用于半導(dǎo)體工藝廢氣處理設(shè)備分解移除效率的評價和研究。
應(yīng)用實(shí)例
•半導(dǎo)體工藝用電子特氣的質(zhì)量評價測量
•與安全相關(guān)領(lǐng)域的測量
•作為法定煙氣排放量參考變量的測量
•氫燃料電池燃燒氣成分定性分析
•燃燒廠中煙氣排放量的定性分析
•半導(dǎo)體工藝廢氣氣濃度的定量研究
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