產品介紹

工藝氣體專用過濾器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵？啥ㄖ苹O計，靈活適應各類安裝空間。

產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a品合格率

?可根據安裝空間進行設計