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產品簡介
OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。
詳細介紹
用于半導體應用IGS面板專用過濾器
產品介紹
SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī) 格，實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升 級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的 表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效。
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設計
