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產(chǎn)品簡介
大流量氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案
詳細介紹
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體大流量過濾器
產(chǎn)品介紹
大流量氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案
產(chǎn)品特點
?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率
?可根據(jù)安裝空間進行設(shè)計
