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            質(zhì)量流量控制器應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量?

            閱讀:826      發(fā)布時(shí)間:2023-12-5
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            客戶(hù)在使用易度氣體流量控制器(MFC)時(shí)反映有這樣的問(wèn)題:剛通氣時(shí)流量會(huì)瞬間達(dá)到可測(cè)量的最大值并顯示告警信息,然后又迅速穩(wěn)定到設(shè)定值,客戶(hù)覺(jué)得易度MFC有很?chē)?yán)重的超調(diào)過(guò)沖問(wèn)題。經(jīng)過(guò)與客戶(hù)詳細(xì)交流后發(fā)現(xiàn),客戶(hù)是先將MFC設(shè)定流量,再開(kāi)啟截止閥給管路通氣。MFC在使用過(guò)程中到底應(yīng)該先通氣還是先設(shè)流量呢?

            圖片1.png 

            圖:常見(jiàn)MFC連接方式

            我們先來(lái)看MFC的工作原理。

            MFC通過(guò)流量測(cè)量部分測(cè)量氣體流量,并根據(jù)測(cè)量值發(fā)出反饋信號(hào)調(diào)節(jié)閥門(mén)開(kāi)口大小,達(dá)到控制流量的目的。當(dāng)測(cè)量的流量小于設(shè)定流量時(shí),就會(huì)增加閥門(mén)開(kāi)口度,讓氣體流量增加,反之亦然。

            圖片2.png

            圖:MFC工作示意簡(jiǎn)圖

            了解了MFC的工作原理,再來(lái)看客戶(hù)遇到的問(wèn)題就容易理解了。

            在不通氣的情況下,將MFC設(shè)定流量后,流量傳感器檢測(cè)流量為零,小于設(shè)定值,于是微處理器發(fā)出信號(hào)將閥門(mén)開(kāi)大,再檢測(cè)流量,發(fā)現(xiàn)流量仍然是零,仍然小于設(shè)定值。微處理器只能繼續(xù)發(fā)出控制信號(hào)直到將閥門(mén)開(kāi)到最大并保持這個(gè)狀態(tài)。這時(shí)打開(kāi)截止閥,氣體瞬間開(kāi)始流動(dòng)起來(lái),而此時(shí)閥門(mén)開(kāi)到了最大,氣體就會(huì)以一個(gè)很大的流量值流過(guò)MFC。MFC檢測(cè)到流量超過(guò)了設(shè)定值,于是控制閥門(mén)開(kāi)口度減小,將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。這就是先設(shè)流量再通氣時(shí)MFC的實(shí)際工作過(guò)程。

            這并不是MFC本身的問(wèn)題,而是在使用MFC時(shí)的操作順序問(wèn)題。正確的操作順序是先通氣,再設(shè)流量。

            先通氣時(shí),由于易度MFC是自主研發(fā)的閥門(mén),具有截止能力,能夠?qū)㈤y門(mén)關(guān)閉,因此并不會(huì)有流量產(chǎn)生。這時(shí)設(shè)定流量,MFC打開(kāi)閥門(mén),將流量從零迅速調(diào)整到設(shè)定值,達(dá)到精確控制流量的目的。


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