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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

15640436639

VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

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品牌 其他品牌
型號(hào)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 沈陽市

屬性

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產(chǎn)品分類品牌分類

旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

旋轉(zhuǎn)涂膜勻膠機(jī)

全部產(chǎn)品列表

其他品牌

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣,綜合

該自動(dòng)鈣鈦礦涂膜系統(tǒng)采用自動(dòng)吸液注液方式，注液后在基片表面自動(dòng)旋涂出一層薄膜，旋涂后移動(dòng)基片至烤膠機(jī)表面進(jìn)行薄膜烘干。液體可進(jìn)行攪拌防止沉淀，如需加熱可對(duì)液體進(jìn)行加熱操作。整個(gè)操作過程在11寸觸摸屏上進(jìn)行設(shè)置，操作直觀方便。該設(shè)備適用于大專院校及科研實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行的鈣鈦礦薄膜及其他液體薄膜的研究，可根據(jù)客戶各種要求進(jìn)行設(shè)備定制。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù) VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

產(chǎn)品名稱

VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-110PAX

主要參數(shù)

VGB-6手套箱參數(shù)：可開啟式單面雙工位手套箱

手套箱腔體	殼體材料：304 不銹鋼尺寸: 1200mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H) 前窗設(shè)計(jì)為開啟式，以便放入各種儀器
腔體環(huán)境	水含量: <1 ppm (20°C, 1 atm) 氧含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)
前級(jí)室	設(shè)計(jì)有兩個(gè)前級(jí)室大前級(jí)室尺寸：Φ360mm x 600mmL 小前級(jí)室尺寸：Φ150 mm x 300mm(L)
工作氣體	工作氣體：N2、Ar、He 等惰性氣體控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體還原氣體：工作氣體和氫氣（H2）的混合氣。如果凈化系統(tǒng)只有除水功能的，還原氣體與工作氣體相同
氣體凈化系統(tǒng)	德國 BASF 除氧材料，美國 UOP 吸水材料，凈化系統(tǒng)再生過程自動(dòng)控制，自動(dòng)除水除氧功能；可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度：水<1ppm，氧<1ppm。
壓力控制系統(tǒng)	腔體氣壓可通過 PLC 觸摸屏自動(dòng)控制控制精度為: ±1Pa 也可通過腳踏開關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制
過濾系統(tǒng)	進(jìn)氣和出氣端都安裝有過濾器過濾精度為：0.3μm
控制系統(tǒng)	SIEMENS 彩色觸摸屏（6 寸），PLC 控制系統(tǒng)，中英文雙語可切換水探頭：采用美國 GE 品牌，0～1000ppm 觸摸屏顯示，精度 0.1 ppm 氧變送器：采用美國AII品牌，0～1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1 ppm 壓力傳感儀：采用美國 setra 品牌，-2500～2500Pa 觸摸屏顯示，精度±1Pa
手套	美國 NORTH 品牌丁基合成橡膠
照明系統(tǒng)	配置飛利浦品牌熒光燈管
儀器尺寸	2300mm(L) x 1500mm(W) x 1900mm(H)
注意事項(xiàng)	手套箱內(nèi)部氣體循環(huán)時(shí)，必須保證循環(huán)系統(tǒng)管道通暢，不可堵塞手套箱中不可通入腐蝕性氣體要定期對(duì)手套箱進(jìn)行再生手套箱的除氧速率要根據(jù)所通入的工作氣體而定，采用 N2 的除氧要比通入 Ar 好若手套箱內(nèi)部放有腐蝕性氣體（如 LiPF6 電解液），不使用時(shí)，必須把裝液體的瓶子密封好

制膜系統(tǒng)參數(shù)

旋涂工位數(shù)量	4工位
旋涂機(jī)參數(shù)	1、腔體（材質(zhì)）：聚丙烯 2、載樣盤（吸盤）：聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 、φ100㎜各一個(gè) 3、運(yùn)行方式：可儲(chǔ)存 12 組程序；每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段 4、涂膜轉(zhuǎn)速：20rpm-12500rpm 有效，速度分辨率1rpm/s 5、增減速率：每段增減速率設(shè)置范圍： 20 rpm —15000 rpm/s 6、涂膜時(shí)間：每段時(shí)間范圍：0-3000s 7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%
液體攪拌系統(tǒng)	配備四個(gè)可加熱磁力攪拌泵加熱溫度RT-100℃ 磁力攪拌速度：0-2000rpm
注液系統(tǒng)	移液槍自動(dòng)左右上下移動(dòng) 水平移動(dòng)有效行程：500mm行程水平移動(dòng)速度：1~1800mm/min(整數(shù))。垂直上下移動(dòng)有效行程：250mm；上下提拉移動(dòng)速度：1~200mm/min(整數(shù)) 配備四個(gè)高精度自動(dòng)注液器注液精度：±1μl 增量：1μl
薄膜烘干系統(tǒng)	1、加熱功率：3500W 2、加熱溫度：≤500℃ 3、控溫精度：±1℃ 4、加熱板：350mm×240mm

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