1. 高精度：臺階儀可實(shí)現(xiàn)納米級別的測量，能夠揭示微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)和特征。
2. 大行程超精密平面掃描：具備70mm的大行程，優(yōu)于20nm/2mm，能夠高效地獲取表面形貌數(shù)據(jù)。
3. 大帶寬大行程納米微動(dòng)臺：擁有80um的大行程和10kHZ的頻率，能夠快速獲取樣品的形貌數(shù)據(jù)。
4. 超微壓力恒定控制：具備0.5mN到15mN的壓力范圍控制，確保制作過程中的穩(wěn)定性和一致性。
功能和作用介紹
作為超精密接觸式微觀輪廓測量儀，澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。其主要功能和作用包括：
1. 測量微米和納米結(jié)構(gòu)：可測量膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等微米和納米級結(jié)構(gòu)。
2. 檢測表面缺陷和形貌：能夠檢測半導(dǎo)體材料表面的缺陷和形貌，為半導(dǎo)體器件的開發(fā)和生產(chǎn)提供可靠的數(shù)據(jù)支持。
3. 提高生產(chǎn)效率：具備高速掃描的能力，能夠快速獲取樣品的形貌數(shù)據(jù)，提高生產(chǎn)效率。
澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用具有以下優(yōu)勢：
1. 高精度的測量能力：具備亞埃級分辨率，能夠滿足半導(dǎo)體制造中對微觀表面形貌的高精度測量需求。
2. 快速測量的能力：配備精密的位移臺和旋轉(zhuǎn)平臺，能夠快速獲取表面的高程數(shù)據(jù)，提高測量效率。
3. 廣泛的適用范圍：可對各種不同材料的表面進(jìn)行測量，包括金屬、塑料、玻璃等材料，適用于不同的半導(dǎo)體制造工藝和材料。
澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用，通過其先進(jìn)的掃描探針技術(shù)和*的性能特點(diǎn)，為半導(dǎo)體器件的制造和品質(zhì)控制提供了可靠的技術(shù)支持，有助于推動(dòng)我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和國產(chǎn)化進(jìn)程。
安徽澤攸科技有限公司是一家具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的科學(xué)儀器公司， 自20世紀(jì)90年代開始投入電鏡及相關(guān)附件研發(fā)以來，研發(fā)團(tuán)隊(duì)一直致力于為納米科學(xué)研究提供*的儀器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統(tǒng)、原位SEM測量系統(tǒng)、ZEM系列臺式掃描電鏡、JS系列臺階儀、納米位移臺、二維材料轉(zhuǎn)移臺、探針臺及低溫系統(tǒng)、光柵尺等在內(nèi)的多個(gè)產(chǎn)品線，在國內(nèi)外均獲得了高度關(guān)注白。
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