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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)介紹：
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長都不會(huì)掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、電阻均衡、溫場均衡性好
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
1.為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）
2.如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.
3.轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率:40W
4.電動(dòng)推桿功率:40W
5.爐子傾斜角度:-10~30度
6.爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率:采用無級變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)
7.轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式:采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封
8.四周表面溫度:≤45℃