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格萊思提供的MANIPULATOR 清潔度實驗設備對零部件清潔度檢測分析流程如下：

1、首先提取組件上顆粒物，提取方法：

（1）沖洗

（2）噴洗

（3）超聲波清洗

（4）壁洗

（5）內(nèi)部沖洗

2、然后采用測量設備對顆粒物進行定性定量分析，分析方法:

（1）重力測量分析

（2）光學顯微鏡分析

（3）拉曼光譜分析

（4）傅里葉紅外光譜儀分析

（5）化學元素分析 （掃描電鏡）

3、與光學顯微鏡分析相比，掃描電子顯微鏡 可以對顆粒進行更深入的分析?？梢源_定顆?；瘜W成分。