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            目錄:格里機(jī)電(無錫)有限公司>>質(zhì)量流量控制器>>氣體質(zhì)量流量控制器>> 5951DD4格里爾斯科氏氣體流量控制器

            格里爾斯科氏氣體流量控制器
            • 格里爾斯科氏氣體流量控制器
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            參考價 面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 品牌 GRYLLS/格里爾斯
            • 型號 5951DD4
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
            • 所在地 無錫市
            屬性

            應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,化工,能源,電子

            >

            更新時間:2024-06-25 11:23:56瀏覽次數(shù):1188評價

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            格里爾斯科氏氣體流量控制器它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

            GRYLLS格里爾斯科氏氣體流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

            帶顯示屏和操作按鍵尺寸圖

            image.png

            GRYLLS格里爾斯科氏氣體流量控制器5951DD4主要技術(shù)指標(biāo):

              1

              量程范圍

              (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

              (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

              2

              準(zhǔn)確度

              ±1%F.S ±0.5%F.S

              3

              線性

              ±0.5~1.5%F.S

              4

              重復(fù)精度

              ±0.2%F.S

              5

              響應(yīng)時間

              電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

              6

              工作壓差

              0.1~0.5MPa

              7

              耐壓

              3MPa

              8

              工作環(huán)境溫度

              0~70℃

              9

              數(shù)字量

              RS485 MODBUS協(xié)議

              10

              模擬量

              DC 0~5V ,4~20mA 可選

              11

              供電

              DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

              12

              電氣連接

              DB15

              13

              漏率




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