PGI Dimension球光潔度測(cè)試

泰勒霍普森輪廓儀基于Taylor Hobson 的兩項(xiàng)核心技術(shù)...

?    非球面輪廓測(cè)定法和高精度圓度...

?    快速尋找光軸頂點(diǎn)，更精確地測(cè)量面形

泰勒霍普森輪廓儀主要特性:

?    形狀測(cè)量重復(fù)性<100納米* (典型 <50納米)

?    邊緣測(cè)量角度達(dá)到85度

?    測(cè)量直徑超過200毫米 (矢高 <20毫米)

?    全自動(dòng)調(diào)新調(diào)平

?    采用全新的調(diào)整機(jī)構(gòu)適合各種部件調(diào)整 (包括陡峭、平坦或小矢高零件等)

?    快速三維測(cè)量 & 分析帶來的高產(chǎn)出

?    全自動(dòng)測(cè)量程序

?    全自動(dòng)分析與輸出顯示

?    非球面分析軟件

?    具有未知表面逆推系數(shù)的分析能力(AAU)

?    3D 散光分析和