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國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性

閱讀：1290 發(fā)布時間：2022-12-1

　　國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺臺面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)，上臺面為430系列高導(dǎo)磁不銹鋼，臺面按照25mmX25mm孔距均布M6螺紋孔，方便安裝儀器，每個螺紋孔下方具有獨(dú)立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu)，是把0.25毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu)，增加了臺面結(jié)構(gòu)的密度，減小體積，采用*的粘合工藝，堅固耐用。臺面的底部和側(cè)板用鋼板作為主體材料，具有非常好的動態(tài)和靜態(tài)的剛性。

　　國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺的特點(diǎn)：

　　1.具有非常好的隔振性能，特別是在低頻2Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率。

　　2.采用慣性傳感器，可以檢測出六個自由度的振動，并做補(bǔ)償。

　　3.采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面，厚度可選100/200/300mm。

　　4.進(jìn)口精密主動隔振光學(xué)平臺。

　　5.隔振性能優(yōu)異，廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡，原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀，半導(dǎo)體檢測設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

　　國產(chǎn)光學(xué)隔振平臺主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機(jī)構(gòu)和主動隔振器DVIA-M，每個支撐里面一般會有4個DVIA-M系列主動隔振器和一臺主控箱。主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器，主要消除0.5-10Hz的外部振動,被動隔振系統(tǒng)部分同時承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動的作用。可以在低頻范圍（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以應(yīng)用于很多對振動要求非常高，甚至具有挑戰(zhàn)的領(lǐng)域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。

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