通過(guò)測(cè)量金屬被測(cè)體與探頭端面的相對(duì)位置，電渦流傳感器感應(yīng)并處理成相應(yīng)的電信號(hào)輸出。傳感器可長(zhǎng)期可靠工作、靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)、非接觸測(cè)量、響應(yīng)速度快不受油水等介質(zhì)的影響，在大型旋轉(zhuǎn)機(jī)械的軸位移、軸振動(dòng)、軸轉(zhuǎn)速等參數(shù)進(jìn)行長(zhǎng)期實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)中被廣泛應(yīng)用，并且被擴(kuò)展到衛(wèi)星發(fā)射、材料鑒定、稱(chēng)重測(cè)量、金屬板厚測(cè)量、材料形變測(cè)量等應(yīng)用領(lǐng)域。

　　一體化電渦流傳感器的優(yōu)點(diǎn)：

　　1、渦流傳感器是一種非接觸的線性化計(jì)量工具，能靜態(tài)和動(dòng)態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測(cè)量被測(cè)金屬導(dǎo)體距探頭表面的距離。電渦流傳感器在測(cè)量過(guò)程中測(cè)量準(zhǔn)確性會(huì)受到一定的影響。

　　2、傳感器特性與被測(cè)體的電導(dǎo)率時(shí)，由于渦流效應(yīng)和磁效應(yīng)同時(shí)存在，磁效應(yīng)反作用于渦流效應(yīng)，使得渦流效應(yīng)減弱，即傳感器的靈敏度降低。而當(dāng)被測(cè)體為弱導(dǎo)磁材料(如銅，鋁，合金鋼等)時(shí)，由于磁效應(yīng)弱，相對(duì)來(lái)說(shuō)渦流效應(yīng)要強(qiáng)，因此傳感器感應(yīng)靈敏度要高。

　　3、不規(guī)則的被測(cè)體表面，會(huì)給實(shí)際的測(cè)量帶來(lái)附加誤差，因此對(duì)被測(cè)體表面應(yīng)該平整光滑，不應(yīng)存在凸起、洞眼、刻痕、凹槽等缺陷。一般要求，對(duì)于振動(dòng)測(cè)量的被測(cè)表面粗糙度要求在0.4um～0.8um之間;對(duì)于位移測(cè)量被測(cè)表面粗糙度要求在0.4um～1.6um之間。

　　4、電渦流效應(yīng)主要集中在被測(cè)體表面，如果由于加工過(guò)程中形成殘磁效應(yīng)，以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、結(jié)晶結(jié)構(gòu)不均勻等都會(huì)影響傳感器特性。在進(jìn)行振動(dòng)測(cè)量時(shí)，如果被測(cè)體表面殘磁效應(yīng)過(guò)大，會(huì)出現(xiàn)測(cè)量波形發(fā)生畸變。

　　電渦流傳感器具有很高的精度，甚至可以被用于微米級(jí)別的測(cè)量任務(wù)。目前，該系列傳感器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備，航天，發(fā)電輪機(jī)，造船，鐵路，汽車(chē)檢測(cè)和機(jī)床行業(yè)。