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AE 射頻電源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW RF Generator 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。AE HFV Series 射頻電源的特點有數(shù)字合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率為3KW、5KW 和 8 KW。此外，該系列電源設(shè)備輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz。固件上的頻率調(diào)諧參數(shù)可進行定制，以確保在各種真空室結(jié)構(gòu)和工藝方法下的可重復(fù)運行。

AE 射頻電源 HFV-8000 1.765-2.165MHz 5KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：HFV-8000

AC 電源輸入：3 phase~ +PE，400~480V，50/60Hz，11kW

RF 電源輸出：1.765~2.165MHz，5000W，640V

通訊接口：Generator User

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX進水水壓 75PSI，5.2kPa（5.2Bars）

AE HFV-8000 優(yōu)點

1.提高了 run-to-run 準確性

2.具有通用性

3.提高了可靠性

4.增強了工藝靈活性

5.降低了持有成本

AE HFV-8000 特點

1.可定制的頻率調(diào)諧參數(shù)

2.輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz

3.有3kW、5kW和8 kW 的輸出功率

4.數(shù)字合成頻率輸出

5.微處理器控制