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AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 射頻電源采用了面向新興等離子應(yīng)用的多級(jí)脈沖和脈沖波形控制，為客戶提供了可靠的脈沖控制等優(yōu)秀技術(shù)和可定制功能。Paramount系列擁有精確的射頻和脈沖控制，能夠快速響應(yīng)等離子體變化，設(shè)備內(nèi)置診斷工具。可實(shí)現(xiàn)精密的射頻調(diào)節(jié)、復(fù)雜的脈沖操作和先進(jìn)的數(shù)據(jù)采集。Paramount Plus Series 設(shè)計(jì)覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz，輸出功率從1.5KW~15KW，可以提供客戶需要的可重復(fù)性和可靠性。

技術(shù)參數(shù)

功率等級(jí)：3 or 6 KW

頻率：27MHz、40MHz、60MHz，頻率調(diào)諧±5%

可用接口：RS-232、25針模擬、以太網(wǎng)、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

AC Input：200/240VAC，400/480VAC

工頻：50/60Hz

散熱：風(fēng)冷和水冷

工作環(huán)境溫度范圍：+5°C ~ +40°C，+41°F ~ +104°F

高級(jí)功能：多級(jí)脈沖，電弧管理，CEX

優(yōu)點(diǎn):

1. 精密控制射頻

2. 提高等離子提穩(wěn)定性

3. 加速等離子體轉(zhuǎn)換

4. 縮短工藝時(shí)間

5. 提高工藝可重復(fù)性和腔室匹配度

特點(diǎn):

1. 通過(guò)精密調(diào)節(jié)功率輸出提升射頻穩(wěn)定性

2. 先進(jìn)的多級(jí)脈沖

3. 脈沖同步和監(jiān)測(cè)

4. 實(shí)時(shí)功率和阻抗測(cè)量

5. 先進(jìn)的FastDAQ數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)