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MKS 射頻電源 Spectrum 11002 1.8-2.17MHz 11KW Spectrum RF Generator 射頻發(fā)生器是MKS的一款新型射頻發(fā)生器平臺(tái)，可提供1.5kW ~ 11kW的各種頻率功率，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)薄膜加工日益增長(zhǎng)的需求。高可靠性的設(shè)計(jì)確保了設(shè)備改進(jìn)后的工藝性能和良率。MKS Spectrum Series 設(shè)備功率控制精確，響應(yīng)時(shí)間快，熱穩(wěn)定性好，精度高。MKS Spectrum 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性，精準(zhǔn)的控制能力和優(yōu)良可靠的成膜能力，成膜速度快，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中被廣泛應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

AC 電源輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，60A，50/60Hz

RF 射頻輸出：8500W（Max.），1.8 ~ 2.17MHz

電機(jī)扭力：8.5 ~ 10.0 LB. FT.   120 ~ 140 KGF/CM

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水流（Min.）11.4L/Min（3GAL/Min）

水冷水溫：＋35℃（Max.）

進(jìn)水水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）

通信接口：POD / RS -232

設(shè)備重量：57kg （125lbs）