質(zhì)量流量為計(jì)量單位的流量計(jì)及控制器（簡稱為MFM，MFC）的主要特性是其測量結(jié)果大部分與流體的質(zhì)量相關(guān)，而受基本不受其它物理特性的影響，因此具有較高的準(zhǔn)確度（精度）。
如何判斷一臺質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器的性能是否*，會涉及很多方面的性能判斷：精度（準(zhǔn)確度）、重復(fù)性、線性度、穩(wěn)定性、漏率 等等。。。 。。。對于不同的應(yīng)用，判斷的依據(jù)或性能要求本身就會有很大區(qū)別。由于質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器的造價相對高一些，所以精度（準(zhǔn)確度）及穩(wěn)定運(yùn)行的可靠性對于任何應(yīng)用來說都是最基礎(chǔ)的性能要求。
對于高精密儀器及設(shè)備來說，質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器的精度非常重要，因?yàn)檫@有可能直接關(guān)系到儀器或設(shè)備自身的精準(zhǔn)度或分辨率；除此之外，還要具有很好的重復(fù)性、線性度：就是同一臺流量計(jì)或流量控制器的多次、相同流量供給的測量或控制結(jié)果，得到的流量數(shù)值結(jié)果要接近于一致；而對于不同流量供給的測量或控制結(jié)果，其偏差值要有很好的線性比例關(guān)系）；
此外，有些應(yīng)用場景還需要質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器有非常好的一致性，就是同一型號的流量計(jì)或流量控制器，雖然編號不同，但其測量結(jié)果要非常接近一致。
以及耐腐蝕性、防護(hù)等級、防爆要求等，由于不同的使用工況也會有不同的要求；對于一些軟件性能，比如通訊協(xié)議，不同的設(shè)備也會有特殊的要求。
當(dāng)然，一些比較簡單的，要求不是很高的應(yīng)用，只要能保證比較好的精度或者能保證出廠時提供的自身性能，即可以滿足要求。
總之，除了一些性能隨著不同使用工況會有不同的要求之外，一臺質(zhì)量較高的質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器的最重要的基礎(chǔ)性能要求，就是要保證較好的、穩(wěn)定的精度及穩(wěn)定運(yùn)行的可靠性。
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