部分物質(zhì)隨著溫度和壓力的變化，會相應的呈現(xiàn)出固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種相態(tài)。對于一些分子量不太大的穩(wěn)定物質(zhì)還存在一個臨界點，臨界點由臨界溫度、臨界壓力和臨界密度構成，當把處于氣液平衡的物質(zhì)升溫升壓時，熱膨脹引起液體密度減少，壓力升高使氣液兩相的界面消失，成為均相體系，這一點成為臨界點。
高于臨界溫度和臨界壓力以上的流體被稱作是超臨界流體。
超臨界流體被廣泛用于節(jié)能、天然產(chǎn)物萃取、聚合反應、超微粉和纖維的生產(chǎn)，噴料和涂料、催化過程和超臨界色譜等領域。將超臨界流體應用到這些領域中的技術統(tǒng)稱為超臨界流體技術。
超臨界流體處于氣液不分的狀態(tài)，沒有明顯的氣液分界面，既不是液體也不是氣體。由于處于超臨界狀態(tài)，對溫度和壓力的改變十分敏感，物理性質(zhì)比較復雜，它的黏度低、密度大，有良好的流動、傳質(zhì)、傳熱和溶解性能，
對于超臨界流體流量的測量與控制，由于這種流體對溫度和壓力的改變十分敏感，如果直接測量或控制體積流量，準確性和穩(wěn)定性比較難控制，因此，還是主要以測量或控制其質(zhì)量流量為主，而傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計主要以氣體為主，而差壓式原理既可以用于測量氣體也可以用于測量液體，也帶有溫壓補償，但測量裝置對超臨界流體狀態(tài)的評測還很難準確。
因此，科里奧利質(zhì)量流量計或控制器由于直接測量介質(zhì)的質(zhì)量流量，因而對超臨界流體突顯出較可靠的性能。
我司的科里奧利質(zhì)量流量計可以測量，也可以控制超臨界流體的流量。
產(chǎn)品特性簡介如下：
◆集成PID控制器調(diào)節(jié)流量
◆無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂
◆可同時輸出流體密度和溫度
◆高粘度流體和高密度氣體可測
◆對環(huán)境振動不明顯
| 量程范圍 | 0.02～300kg/h |
| 測控范圍 | 流量計量程比100:1 控制器量程比50：1 |
| 準確度（滿量程） | 氣體：±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S |
| 穩(wěn)定性 | ±0.1%F.S |
| 重復精度 | ±0.05%F.S |
| 響應時間 | <0.2s |
| 數(shù)字量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～70℃ |
| 壓力等級 | 100bar |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB15孔 |
| 漏率 | 2×10-9SCCSHe |
| 安裝位置 | 任意位置安裝 |
| 底座材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 外部密封材質(zhì) | 金屬 |
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