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ACU20P系列 Torr級托爾壓力控制器EPC/壓力計
為直通式設計，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。
該基本數字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號?？裳b配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規(guī)應用使用標準的直接操控閥，高流速應用使用先導閥。
應用領域：半導體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜/反應釜壓力控制等。
Torr級托爾壓力控制器EPC/壓力計
產品參數：
技術參數 | 精度(包括線性和滯后性) | ±0.5%F.S | |
壓力量程比 | 壓力計 | 1:50 | |
壓力控制器 | 1:20 | ||
重復性 | ≤0.1% | ||
傳感器響應時間 | 0.2s | ||
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) | ||
運行溫度 | -10~+70℃ | ||
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||
方位影響度 | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | ||
＜0.6 KPa（差壓傳感器） | |||
預熱時間 | 忽略不計 | ||
機械部件 | 材質 | 不銹鋼 | |
工藝連接 | G3/8" | ||
密封材質 | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 | ||
防護等級（外殼） | IP40 | ||
電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | |
數字輸出 | RS485/RS232、profibus協(xié)議 | ||
電氣連接 | DB9 | ||
如所需參數與上述列舉不同，請另行溝通咨詢
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