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            賽默飛電子顯微鏡

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            淺析fei掃描電鏡的工作方式和操作流程

            閱讀:398      發(fā)布時間:2023-7-9
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              fei掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,它利用電子束而不是光束來形成圖像。下面是fei掃描電鏡的工作方式和操作流程的概述。
             
              1、準(zhǔn)備樣品:首先,需要準(zhǔn)備要觀察的樣品。樣品通常需要被切割、研磨、涂覆導(dǎo)電材料或冷凍處理等預(yù)處理步驟,以便在FE-SEM中進(jìn)行觀察。樣品也可以是固體、粉末、薄片、纖維等不同形式。
             
              2、投射電子束:電子槍生成高能電子束。這個電子束通過一個稱為“透鏡系統(tǒng)”的裝置來控制和聚焦。透鏡系統(tǒng)由多個磁透鏡組件組成,用于聚焦和形成非常小的束斑。
             
              3、掃描樣品表面:樣品放置在一個可移動的樣品臺上。樣品臺可以水平和垂直移動,以便對樣品進(jìn)行精確定位。一旦樣品定位正確,電子束開始在樣品表面上進(jìn)行掃描。
             
              4、探測信號:當(dāng)電子束照射到樣品表面時,與電子相互作用的產(chǎn)生多種信號。常見的信號包括二次電子和反射電子。這些信號被稱為“顯微鏡圖像”,可以提供關(guān)于樣品表面形貌、元素分布或晶體結(jié)構(gòu)等信息。
             
              5、接收和處理信號:使用一系列探測器來接收不同類型的信號,并將其轉(zhuǎn)換成電子圖像。例如,二次電子探測器用于產(chǎn)生樣品表面形貌圖像,而反射電子探測器用于獲取更深入的信息,如材料的組成和晶體結(jié)構(gòu)。
             
              6、形成圖像:接收到的信號經(jīng)過放大、濾波和數(shù)字化處理后,傳送到顯示器上形成圖像。通過調(diào)整掃描參數(shù)(如電子束能量、聚焦、掃描速度等),可以獲得所需的圖像對比度和分辨率。
             
              7、分析和解釋圖像:一旦獲得了圖像,研究人員可以對圖像進(jìn)行進(jìn)一步的分析和解釋。他們可以觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)、孔隙性質(zhì)、晶體取向等,并根據(jù)需要進(jìn)行定量測量和形態(tài)分析。
             
              8、數(shù)據(jù)記錄和保存:FE-SEM通常配備有數(shù)據(jù)記錄和保存的功能,可以將觀察到的圖像和相關(guān)信息保存在計算機(jī)或其他儲存設(shè)備中。這樣,研究人員可以隨時回顧、比較和分享結(jié)果。
             
              fei掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域,幫助研究人員獲得高分辨率的表面形貌和微結(jié)構(gòu)信息。操作需要一定的專業(yè)知識和技能,以確保樣品的準(zhǔn)備和操作步驟正確無誤,并獲得可靠和準(zhǔn)確的顯微圖像。

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