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            fukuda-jp測量超微泄漏MUH-0100系列

            時間:2024/6/11閱讀:389
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            測量超微泄漏

            MEMS元件和小型電子元件,如角速度傳感器和紅外圖像傳感器,必須多年保持其內(nèi)部密封性能,并要求具有高水平的氣密性。

            福田開發(fā)了一種稱為“膠囊累積法"的高靈敏度氦氣泄漏檢測技術(shù),用于測量超微量泄漏。

            MUH-0100系列是一款采用“膠囊累積法"的氣密性檢測裝置,專用于測量超微量泄漏。


            測量范圍:

            傳統(tǒng)方法中,考慮背景效應(yīng)時,氦氣泄漏量約為10 -10 Pa·m 3 / s(He),但采用本技術(shù))可以測量泄漏量

            fukuda-jp測量超微泄漏MUH-0100系列

            什么是“膠囊堆積法"?

            膠囊積聚法是一種通過在大容積“腔室"內(nèi)安裝小容積“膠囊"來測量氦氣泄漏的方法,以檢測工件(測試品)中微小的氦氣泄漏。使用以下步驟 ① 至 ③ 測量小泄漏。


            [測量流程]

            ① 將裝有工件(測試品)的“膠囊"和“腔室"抽真空,封閉“膠囊",并

             累積氦氣至質(zhì)譜儀可以檢測到的水平。

            ② 打開“膠囊",將“膠囊"內(nèi)的氣體釋放到“腔室"中。

            ③擴(kuò)散的氦氣變成分子流,通過“孔徑",被質(zhì)譜儀測量。

            fukuda-jp測量超微泄漏MUH-0100系列

            “膠囊堆積法"的特點(diǎn)

            顯著降低背景。

            能夠檢測超微量氦氣泄漏。

            氦氣泄漏測定能力*4×10 -15 Pa?m 3 /s (He) ~

            *當(dāng)存儲時間為2小時時。

            這取決于爆炸條件、膠囊尺寸和靜置時間等測試條件。


            減少氦氣以外可能導(dǎo)致錯誤的氣體的影響,

            無需加熱器或低溫泵,啟動時間和維護(hù)

            與常規(guī)氦檢漏儀相同。

            fukuda-jp測量超微泄漏MUH-0100系列


            測量超細(xì)泄漏時的注意事項(xiàng)

            關(guān)于封裝材料:

            如果封裝或接合表面材料含有玻璃,氦氣會透過并粘附在玻璃上。請?zhí)崆白⒁馐褂玫牟牧?。允許的氦氣滲透量和附著量必須約為測量泄漏量的 1/10 或更少。


            關(guān)于粗漏如果存在粗漏,工件內(nèi)部的氦氣會在短時間內(nèi)逸出

            ,使得精漏測量值不準(zhǔn)確/ s(等效標(biāo)準(zhǔn)泄漏率)。對于大泄漏測量,請使用推薦的粗泄漏測試系統(tǒng)。確保 試件內(nèi)容積為0.1mm3以上。



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