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高穩(wěn)定雙光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?nbsp;
●應(yīng)用東京精密的核心技術(shù)之一的光纖激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，開發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定雙光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。
●動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評(píng)價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，是一款劃時(shí)代的產(chǎn)品。
在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá)在日本已取得**
憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)
電子低振動(dòng)化穩(wěn)定,可以實(shí)現(xiàn)高倍率測(cè)定。
只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析
●可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。
大量程
橫向200mm,縱向13mm,測(cè)量范圍大。
可士45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜
(SURFCOM CREST-T型號(hào))
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