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            HORIBA堀場光纖型化學(xué)藥液濃度計CS-600F說明書

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            CS-600F.jpg
            光纖型化學(xué)藥液濃度計
             
              CS-600F
             
              CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能,如在各種應(yīng)用中對高溫化學(xué)藥液進行在線測量的能力,減少停機時間的穩(wěn)定運行,以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸,以滿足先進半導(dǎo)體濕法制程所需的準確化學(xué)藥液濃度管理。
             
              概要配置下載中心
             
              尺寸更小,布局更靈活
             
              CS-600F 濃度計尺寸緊湊,與成熟型號(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,體積減少 40%,樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。
             
              光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝,支持根據(jù)化學(xué)藥液單元和清洗設(shè)備的位置靈活安裝。
             
              高溫化學(xué)溶液(20 至 80℃)的高穩(wěn)定性在線測量
             
              新的光學(xué)系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學(xué)藥液,這是先進濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學(xué)樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高,實現(xiàn)了更有效和準確的化學(xué)藥液管理。
             
              背景校正頻率顯著降低
             
              與成熟型號(CS-100F1系列)相比,定期校正頻率顯著降低,這反過來又顯著減少了機臺停機時間,有助于提高產(chǎn)量。
             
              單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液(藥液種類或濃度范圍)
             
              單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液(藥液種類或濃度范圍)。可自由確定藥液類型和濃度范圍,CS-600F 保證滿足各種檢測要求。
             
              可輸出多達六種組分的測量值(串行輸出)
             
              成熟型號(CS-100F1 系列)可輸出四種組分的測量值(串行輸出)。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分,而CS-100F1型號為兩種。
             

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