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            天津泰諾科學(xué)技術(shù)有限公司
            初級(jí)會(huì)員 | 第2年

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            Cressington 108Auto 全自動(dòng)離子濺射儀
            • Cressington 108Auto 全自動(dòng)離子濺射儀

            更新時(shí)間:2025-03-02 21:00:08

            瀏覽次數(shù):44

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            Cressington 108Auto 全自動(dòng)離子濺射儀是用于掃描電鏡的高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng)●自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果?!裢ㄟ^(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,避免樣品表面受損?!癫僮魅菀卓旖?,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。●在自動(dòng)模式下,可通過(guò)兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過(guò)程??赏ㄟ^(guò)數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)(分辨率優(yōu)于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)●數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。●可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更換快速方便。

            技術(shù)規(guī)格:

            樣品倉(cāng)尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高強(qiáng)度不銹鋼結(jié)構(gòu)

            樣品臺(tái):可放置12 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) SEM 樣品座,高度可在   60mm 內(nèi)調(diào)節(jié)

            濺鍍優(yōu)點(diǎn):基于微處理器反饋控制,遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng);提供真空安全聯(lián)鎖裝置,最180A,配有過(guò)流保護(hù)

            濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流40mA,程序化數(shù)字控制

            濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

            模擬計(jì)量:真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

            厚度監(jiān)測(cè)器:   MTM-10 高精度厚度監(jiān)測(cè)器(選配)

            控制方式:自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫停"控制的數(shù)字定時(shí)器0300s),自動(dòng)放氣

            電源:200-240 VAC, 50/60Hz

            功率:1000VA (包括鍍碳機(jī)和真空系統(tǒng))

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