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低溫磁控型
1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗，方便觀察操作；
2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；
3.微調閥調節(jié)靈敏準確，帶有刻度標識；
4.真空泵抽速快，噪音低，適合實驗室使用；
5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；
6.顯示控制操作部分布局合理，使用方便；
7.結構簡單可靠，布局合理，維修操作空間大；
8.自動真空的進排氣，關機自動放棄（標準版手動放氣）
9.優(yōu)化機型外觀，整潔大方，體積靈巧；
10.數字方式定時，0-9999秒區(qū)間自主調節(jié)；
11.采用冷陰極磁控濺射靶頭；
12.升降式上翻蓋結構，更換樣品方便快捷；
13.采用定制“凹"密封，更加方便操作；
14.增大樣品處理室空間，φ150X110高硬度耐高溫石英晶體；
15.定制型真空泵排氣過濾器；
16.獨立式升降樣品臺組件（標準為2支柱緊固型）；
17.石英處理室：Φ150mm,高度110mm;
18. 濺射類型： 冷陰極磁控型二級濺射；
19.樣臺尺寸：150mm,樣品臺插孔61個可選；可升降和手動旋轉
20.樣品更換：升降式上翻蓋結構，上蓋打開可獨立支撐
21.靶材尺寸：Φ50（可選配定制高效率靶材）;
22.真空系統(tǒng)：型渦旋真空泵2L/S；
23.真空檢測：定制皮氏計，配合真空指針表，靈敏可靠；
24. 真空保護：20Pa配有微量充氣閥調節(jié)工作真空；
25.真空泄壓：自動進排氣（無需手動放氣閥）；
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