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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> UNECS-1500M-ULVA精品高速光譜 橢偏儀
所在地：日本
貨物所在地：廣東深圳市
更新時(shí)間：2025/3/1 11:45:10
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
UNECS系列是一款光譜橢偏儀，可高速、高精度測(cè)量薄膜的厚度和折射率。采用測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應(yīng)不同的應(yīng)用，包括便攜式類型、自動(dòng)平臺(tái)類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。
UNECS-1500M配備了易于操作的手動(dòng)R-θ平臺(tái)，兼容φ150mm，使測(cè)量定位變得容易。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量
特征
高速測(cè)量：
采用快照方式，實(shí)現(xiàn)了最高速度20ms的高速測(cè)量。
兼容可見(jiàn)光譜：
波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見(jiàn)光譜型（380nm~760nm）。
緊湊的傳感器單元：
光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容：
我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。
| 波長(zhǎng)范圍 | 530~750nm、380~760nm（任選其一） | |
| 光斑直徑 | φ1mm、φ0.3mm（任選其一） | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚范圍 | 1nm?2μｍ | |
| 測(cè)量時(shí)間 | 受光：20ms ? 3000ms 演算：300ms | |
| 階段 | φ150mm手動(dòng)R-θ平臺(tái) | |
| 控制電腦 | 筆記本型（帶操作/分析軟件） | |
| 機(jī)器構(gòu)成 | 測(cè)量主體（帶手動(dòng)載物臺(tái)、控制箱）、 光源裝置、操作電腦（筆記本電腦型）、使用說(shuō)明書(shū)（CD） | |
深圳市京都玉崎電子有限公司 - 主營(yíng)產(chǎn)品： Effilux光源,超亮光源箱,LED超高亮度光源,aand ...
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