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真空壓力表是測(cè)量低于大氣壓的負(fù)壓的壓力測(cè)量裝置。
壓力測(cè)量?jī)x表有壓力表、復(fù)合表、真空表三種，真空表稱為真空壓力表。這些測(cè)量?jī)x表中的每一種都有不同的可以測(cè)量的壓力范圍：壓力表只能測(cè)量正壓，復(fù)合表可以測(cè)量有限范圍的正壓和負(fù)壓，真空表只能測(cè)量負(fù)壓。
因此，使用真空計(jì)測(cè)量負(fù)壓以外的任何東西時(shí)必須小心，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致故障。
真空壓力表的應(yīng)用
真空壓力表用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、冶金、有機(jī)合成和其他實(shí)驗(yàn)設(shè)備的等離子蝕刻空間。其他應(yīng)用包括離子束設(shè)備、蒸發(fā)設(shè)備和需要表面清潔度的加工設(shè)備。
當(dāng)執(zhí)行涉及從管道中排出空氣以形成真空然后向管道填充氣體的工作時(shí)，請(qǐng)使用真空壓力表測(cè)量真空度。一個(gè)常見(jiàn)的使用示例是安裝新空調(diào)時(shí)。
通過(guò)僅向空調(diào)管道填充冷卻氣體，空調(diào)可以無(wú)gu障地運(yùn)行。
