日本進(jìn)口USHIO牛尾 UXL-S75XE 短弧氙燈
日本進(jìn)口USHIO牛尾 UXL-S75XE 短弧氙燈
USHIO 一直提供專門用于服務(wù)器、個(gè)人電腦、智能手機(jī)和平板電腦等移動(dòng)設(shè)備中使用的封裝應(yīng)用的步進(jìn)機(jī)。這是一款封裝基板用步進(jìn)機(jī)，采用了Ushio多年來積累的光源和光學(xué)技術(shù)以及我們 的大面積投影透鏡技術(shù)，并使用了與面板尺寸相對(duì)應(yīng)的平臺(tái)。它實(shí)現(xiàn)了高生產(chǎn)率，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。
[元件技術(shù)]
配備全球占有率第一的超高壓UV燈
具有高均勻性的 照射光學(xué)系統(tǒng)
的大面積投影鏡頭
響應(yīng)基板特定畸變的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)
的TTL非曝光波長/對(duì)準(zhǔn)方法
Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長對(duì)準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無需暴露基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。此外，由于可以直接觀察工件標(biāo)記，因此不會(huì)因掩模而降低對(duì)比度，并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)。
兼容多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記
由于支持對(duì)已登記圖案的圖案匹配，因此無需專用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，即可與各種布線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。
高分辨率能力
配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn)，設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm。
深景深
由于焦點(diǎn)深度較深（±50 至 100 μm），因此即使由于基板的臺(tái)階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離，也可以獲得與正確對(duì)焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時(shí)尤其有效。
使用表面平臺(tái)進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)
通過使用精密空氣軸承消除摩擦，并通過平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕、更堅(jiān)固，實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外，表面平臺(tái)使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制，實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。
面罩無損傷
| 模型 | 額定燈輸入（W） | 燈電壓（V） | 總光通量（lm） | 冷電極距離(mm) | 平均壽命（小時(shí)） | 是否存在臭氧 | 產(chǎn)品規(guī)格 |
|---|
| UXL-S75XE | 80 | 15±2 | 1,600 | 1.3 | 2,000 | 沒有什么 | PDF311KB |
| UXL-S150MO | 150 | 17.5±2 | 3,800 | 2.1 | 3,000 | 沒有什么 | PDF315KB |
| UXL-75XE | 65 | 12.5±1.5 | 1,000 | 0.7 | 400 | 沒有什么 | PDF308KB |
| UXL-150MO | 150 | 17.5±2 | 3,800 | 2.1 | 1,500 人 | 沒有什么 | PDF313KB |
| UXL-150SO | 150 | 20±2.5 | 4,200 | 2.5 | 1,500 人 | 沒有什么 | PDF310KB |
| UXL-151D-O | 150 | 20±2 | 4,200 | 2.5 | 1,200 | 沒有什么 | PDF310KB |
| UXL-150S | 150 | 20±2 | 4,200 | 2.5 | 1,200 | 是的 | PDF309KB |
| UXL-151H | 150 | 20±2.5 | 4,200 | 2.1 | 1,200 | 是的 | PDF309KB |
| UXL-300D-O | 300 | 20±2 | 9,400 | 2.6 | 1,000 | 沒有什么 | PDF309KB |
| UXL-302-O | 300 | 20±2 | 9,400 | 2.6 | 900 | 沒有什么 | PDF309KB |
| UXL-500D-O | 500 | 20±2 | 16,300 | 四 | 1,500 人 | 沒有什么 | PDF313KB |
| UXL-500D | 500 | 20±2 | 16,300 | 四 | 1,500 人 | 是的 | PDF311KB |
