| 模型 | Exa-Ms5 |
|---|---|
| 照明系統(tǒng) | 準(zhǔn)分子激光 |
| 解決 | Φ5微米 |
| 加工尺寸 | 70x70毫米 |
| 對(duì)位精度 | 3σ < 3.0 微米 |
| 電路板尺寸（最大） | 510x515毫米 |
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