欧美日韩ay在线观看_高清中文字幕男人的天堂_国产综合久久亚洲综合_8050午夜二级中文字幕 ,a级毛片高清免费视频a级毛片免费视频|高清电影无码在线观看|国产成人1024在线观看|高清无码黄片毛片一级片|午夜视频性爱嗯啊高清无码 ,麻花豆传媒剧国产聂小倩_日韩一区二区三区免费观看女同_国严亚州中文在线字幕_99九九精品视频_午夜福利yw在线观看2024_深夜福利免费视频_中国av特黄精品_亚洲日本综合中文_四虎亚洲无码在线

狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

北京中科科儀光電科技有限公司

18611400087

technology

首頁 >> 技術(shù)文章 >> 關(guān)于磁控離子濺射儀的詳細(xì)介紹一起了解下

北京中科科儀光電科技有限...

查看電話 在線咨詢

立即詢價(jià)

您提交后，專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)

點(diǎn)擊提交代表您同意《用戶服務(wù)協(xié)議》《隱私政策》

關(guān)于磁控離子濺射儀的詳細(xì)介紹一起了解下

閱讀：248 發(fā)布時(shí)間：2025-2-17

　　磁控離子濺射儀廣泛應(yīng)用于各種材料的表面鍍膜，包括金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等。其優(yōu)點(diǎn)包括設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大、附著力強(qiáng)等。此外，磁控離子濺射技術(shù)還具有沉積溫度低、沉積速度快、薄膜均勻性好等特點(diǎn)，適用于各種需要薄膜的工業(yè)和科研領(lǐng)域‌。

　　磁控離子濺射儀基于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)，其工作原理是利用輝光放電產(chǎn)生等離子體，并通過磁場約束帶電粒子，提高濺射效率。在電場的作用下，電子加速飛向基片，與氬原子碰撞，使其電離產(chǎn)生氬離子和新的電子。氬離子在電場作用下加速轟擊靶材，使靶材表面的原子或分子濺射出來，濺射出的中性靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜。同時(shí)，二次電子在磁場的作用下產(chǎn)生E×B漂移，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，從而提高等離子體密度，增加濺射率。

　　磁控離子濺射儀主要由以下幾部分組成：

　　真空系統(tǒng)：包括真空腔體、真空泵組及真空測(cè)量裝置，用于創(chuàng)建并維持高真空環(huán)境，確保濺射過程中不受氣體分子干擾，提高薄膜的純度和質(zhì)量。

　　濺射源：這是磁控濺射儀的核心部件，由靶材、磁體(通常為環(huán)形或平行布置的永磁體或電磁體)及冷卻系統(tǒng)組成。靶材是待濺射的材料，磁體產(chǎn)生的磁場則引導(dǎo)電子在靶材表面做螺旋運(yùn)動(dòng)，增加電子與氬氣分子的碰撞幾率，從而產(chǎn)生更多的氬離子轟擊靶材，提高濺射效率。

　　基底平臺(tái)：用于放置待涂覆或沉積的基底材料，通常具備加熱、旋轉(zhuǎn)及冷卻功能，以優(yōu)化薄膜的生長條件。

　　電源及控制系統(tǒng)：包括高壓電源、脈沖電源、磁場控制電源及整體控制系統(tǒng)的軟件部分，用于準(zhǔn)確調(diào)控濺射過程中的電壓、電流、磁場強(qiáng)度及基底溫度等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)好的質(zhì)量的薄膜制備。

會(huì)員登錄

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

查看我的收藏夾設(shè)置標(biāo)簽

標(biāo)簽：: 保存成功
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用：

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。