您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
15510102388
當(dāng)前位置：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司>>技術(shù)文章>>RIGAKU日本理學(xué)晶圓磁盤分析儀 3650
這是一種波長色散 X 射線熒光光譜儀 （WD-XRF），可以以非破壞性、非接觸的方式同時分析最大 ~200 mm 晶圓上各種薄膜的厚度和成分。 XYθZ 驅(qū)動式樣品臺（方法）可準(zhǔn)確分析各種金屬膜，避免了衍射線的影響。 使用 4kW 高功率 X 射線管可對超輕元素進(jìn)行高精度分析，例如 BPSG 薄膜的痕量元素測量和硼分析。 它還與 C-to-C 傳輸機器人（可選）兼容。 它配備了 Auto Cal（全自動日常檢查和強度校正功能）。
| 產(chǎn)品名稱 | WDA-3650 型 | |
|---|---|---|
| 技術(shù) | 同步波長色散 X 射線熒光 （WD-XRF） | |
| 用 | 用于最大 200 mm 晶圓的多層堆棧的厚度和組成 | |
| 科技 | 4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺，Rh 陽極 WDXRF | |
| 主要組件 | 多達(dá) 20 個通道，固定（?Be 到 ??U），掃描（??Ti 到 ??U） | |
| 選擇 | 高靈敏度 AD-Boron 通道，使用 C-to-C 自動進(jìn)樣器進(jìn)行自動校準(zhǔn) | |
| 控制 （PC） | 內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng) | |
| 本體尺寸 | 1120 （寬） x 1450 （高） x 890 （深） 毫米 | |
| 質(zhì)量 | 600 kg（身體） | |
| 權(quán)力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz，30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A | |
與從輕到重的各種元件兼容： 4是~92U
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 此外，它還配備了恒溫機構(gòu)和真空度穩(wěn)定機構(gòu)作為穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)
X-Y-theta 驅(qū)動樣品臺和測量方向設(shè)置程序可以準(zhǔn)確測量晶圓整個表面的薄膜厚度和成分分布。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。
半導(dǎo)體器件 BPSG、SiO2四3N4， ??摻雜多晶硅（B，P，N，As）， Wsix， ??Al-Cu， TiW， TiN， TaN， PZT， BST， SBT， ?? Mram， ?? 金屬
薄膜W， Mo， Ti， Co， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru，
磁盤CoCrTa， CoCrPt， DLC， NiP，
磁光盤 Tb-FeCo， ??
磁頭 GMR， TMR， ??
我們根據(jù)薄膜厚度和結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測角儀。 我們還有一個專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以在硅晶片上分析 Wsix 薄膜。
儀器必須正確校準(zhǔn)才能獲得準(zhǔn)確的分析值。 為此，必須定期測量檢查晶圓和 PHA 調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。 這種日常校準(zhǔn)工作是自動化的，減少了作員的工作量。 那就是“AutoCal 功能"。
除了打開的盒式磁帶外，還支持 SMIF POD。 它與 200 mm 或更小的晶圓兼容。 此外，還可以與主機進(jìn)行 SECS 通信，并支持各種 CIM/FA。
主機的占地面積為 1 m2緊湊的設(shè)計如下： 通過采用無油變壓器，輔助設(shè)備也非常緊湊，是一種節(jié)能設(shè)計。
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
