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            北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司
                                                                        
            
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            ULVAC愛發(fā)科NRL180A干式真空泵
            
						
            
							時間：2025/4/2閱讀：100
							
            
							
				
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            ULVAC愛發(fā)科NRL180A干式真空泵
              NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
                  特長
                1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

                2. 低噪音、低振動

                3. 優(yōu)良的耐腐蝕性

                4. 標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

                5. 選購件

                6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。


                  7. 用途
                7. •  活性氣體（CVD、刻蝕等）。

                8. •  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

                9. •  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

                10. •  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

                11. •  冷凍干燥等水蒸氣排氣。

            • 技術(shù)參數(shù)
            • 外形尺寸圖
            • 抽氣速率曲線
            ULVAC愛發(fā)科NRL180A干式真空泵

            * 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
            * 2  無結(jié)露。
            * 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
            * 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。


            
							
							
							
						
            
					
            
				
            
			
            
		
            
		
		
		
		 



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
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