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日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀
最多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
可以顯示從ppm級(jí)到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀介紹：

血YANG定量計(jì)半導(dǎo)體、LCD 和電子元件相關(guān)應(yīng)用用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

血YANG儀 MS-500

MS-500

最多可同時(shí)測(cè)量 8 個(gè)點(diǎn)
可以顯示從ppm級(jí)到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）
堅(jiān)固耐用的傳感器，帶有特殊涂層，更耐用

日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀MS-500 規(guī)格：

測(cè)量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			分體式（換能器：壁掛式、傳感器：直插式）
顯示方式			數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測(cè)量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動(dòng)柜員機(jī) 自動(dòng)量程
重復(fù)性			± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高 ±1%FS或小于0.1ppm ± 小于 0-1% 范圍 0-1ppm，ATM范圍超出濃度保證范圍
測(cè)量點(diǎn)數(shù)			1~8
樣氣條件	壓力		10-3~200KPa（絕對(duì)壓力）
	流量		0.5~5,000mL/min或0mL/min（自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量）
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0~100°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機(jī)輸出			僅傳輸輸出
傳輸功率			RS-232C接口
報(bào)警輸出			沒(méi)有
預(yù)熱時(shí)間			6分鐘內(nèi)
大小	MS-500 （控制器）		92 （W） × 44 （H） × 120 （D）（不包括突起部分）
	MS-510 （轉(zhuǎn)換器）		100 （W） × 40 （H） × 88 （D）（不包括突起部分）
	傳感器單元	SD16NW系列	全長(zhǎng)：100mm（感應(yīng)部分Φ11×39、機(jī)身部分Φ40×51）
		SD25NW系列	全長(zhǎng)：100mm（感應(yīng)部分Φ11×42、機(jī)身部分Φ40×48）
		SD40NW系列	全長(zhǎng)：100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，機(jī)身部分Φ40×49）
質(zhì)量	MS-500 （控制器）		約0.6Kg
	MS-510 （變壓器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW系列	約0.2Kg
		SD25NW系列	約0.2Kg
		SD40NW系列	約0.35Kg
外部連接			任何真空法蘭（NW16、25、40）
使用的電源			24VDC±10%

血YANG儀 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

可以顯示
從寬濃度范圍內(nèi)測(cè)量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。
提高傳感器耐久性氧
傳感器經(jīng)過(guò)特殊處理，可提高耐久性。
交流寬電源 AC100~240VAC （LC-450A）
*LC-450D 是 DC24V 驅(qū)動(dòng)
結(jié)構(gòu)緊湊，易于安裝，
深度甚至比我們的傳統(tǒng)型號(hào)更短，而且不占用太多空間。
符合RoHS指令的產(chǎn)品
CE標(biāo)志自我聲明的物品
EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003

LC-450A 規(guī)格：

測(cè)量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測(cè)量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動(dòng)柜員機(jī)自動(dòng)量程
重復(fù)性			±在1%FS0-1ppm以內(nèi)，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式			內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		1,000~2,000毫升/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		4-20 mA 或 0-20 mA 開關(guān)（可選 0-10 V）隔離、負(fù)載電阻 550 Ω以下記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
錄音機(jī) 輸出	輸出范圍		0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸功率			RS-232C接口
報(bào)警輸出	FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	ALM（濃度報(bào)警）	2 分（H/L）	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下發(fā)生報(bào)警時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	RDY（預(yù)熱信號(hào)）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下無(wú)電壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)容量為 12 V 或更高，無(wú)法處理小負(fù)載。
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時(shí)間			5分鐘內(nèi)
大小	物質(zhì)		210 （W） × 134 （H） × 300 （D） mm （不含突起部分）
質(zhì)量			約6kg
氣體連接端口	入口		RC1/4型
	旁路輸出		RC1/4型
	出口		RC1/4型
使用的電源			100~240VAC， 50VA （穩(wěn)態(tài)： 35VA） 50Hz/60Hz

LC-450D 規(guī)格

測(cè)量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）
測(cè)量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0自動(dòng)柜員機(jī)自動(dòng)量程
重復(fù)性			±在1%FS0-1ppm以內(nèi)，大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式			內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		1,000~2,000毫升/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		0-10VDC，隔離，負(fù)載電阻600kΩ以上（可選：4-20mADC，隔離，負(fù)載電阻550 Ω以下）記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關(guān)系
錄音機(jī) 輸出	輸出范圍		0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動(dòng)/固定范圍
傳輸功率			RS-232C接口
報(bào)警輸出	FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下因設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	ALM（濃度報(bào)警）	2 分（L/LL）	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下發(fā)生報(bào)警時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	RDY（預(yù)熱信號(hào)）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下預(yù)熱操作時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）非電壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)電容大于 12 V 或 20 mA，無(wú)法處理小負(fù)載
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時(shí)間			5分鐘內(nèi)
大小	物質(zhì)		240 （W） × 134 （H） × 210 （D） mm （不含突起部分）
質(zhì)量			約5kg
氣體連接端口	入口		RC1/8型
	旁路輸出		RC1/8型
	出口		RC1/8型
使用的電源			24VDC±10%， 1.25A （30VA，穩(wěn)態(tài)）

血YANG儀LC-860

LC-860

低濃度測(cè)量：能夠
測(cè)量從ppb級(jí)到100%
易于操作：使用單獨(dú)的按鍵即可輕松操作
吹掃功能比較
氣體進(jìn)一步穩(wěn)定，可以進(jìn)行更精確的測(cè)量（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格）
高可靠性傳感器：
傳感器內(nèi)部也可進(jìn)行防劣化處理（可選）

LC-860 規(guī)格：

測(cè)量原理			氧化鋯陰影電池供電
形狀			桌面/面板安裝
顯示方式			數(shù)字 6 位顯示（密度顯示）
測(cè)量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20~10-0ATM 自動(dòng)/固定范圍
重復(fù)性			± 氧氣濃度小于 1 ppm和0-1 ppm，大氣壓范圍在1%FS以內(nèi)均超出濃度保證范圍。
取樣方式			內(nèi)置泵連續(xù)抽吸
樣氣條件	壓力		加壓小于30KPa
	流量		~1,500毫升/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0~50°攝氏度
	其他		不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
比較氣體			大氣層
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		4-20mA/0-10V 4-20mA：隔離、負(fù)載電阻 600 Ω以下 0-10V：絕緣，負(fù)載電阻 500 Ω以上記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度呈線性關(guān)系
錄音機(jī) 輸出	輸出范圍		0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個(gè)量程自動(dòng)/固定量程
傳輸功率			RS-232C接口
報(bào)警輸出	FAIL（設(shè)備錯(cuò)誤）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下因設(shè)備異常導(dǎo)致觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	ALM（濃度報(bào)警）	2 積分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下發(fā)生報(bào)警時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）
	RDY（預(yù)熱信號(hào)）	1 分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.5A以下預(yù)熱操作時(shí) 觸點(diǎn)閉合（觸點(diǎn)操作可更改）無(wú)壓觸點(diǎn)的最小開關(guān)容量為12V以上，無(wú)法處理小負(fù)載。
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	3分	無(wú)電壓觸點(diǎn)，觸點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下
預(yù)熱時(shí)間			20分鐘內(nèi)
大小	物質(zhì)		288 （W） × 144 （H） × 400 （D） mm （不包括突起部分）
質(zhì)量			約10kg
氣體連接端口	入口		RC1/8型
	旁路輸出		RC1/8型
	出口		RC1/4型
使用的電源			100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz

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