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反射涂層厚度監(jiān)測(cè)儀是一種光學(xué)干涉反射光譜涂層測(cè)厚儀，它使用微型反射探頭，可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性，可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。
最多可同時(shí)測(cè)量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護(hù)性，可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過(guò)程中，它可以用作在線監(jiān)視器或終點(diǎn)監(jiān)視器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），從而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的實(shí)時(shí)監(jiān)控（實(shí)時(shí)監(jiān)控）。
它還可用于評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

通過(guò)采用高度為 30 mm 的小探頭，它可以安裝在設(shè)備的狹小空間內(nèi)。

通過(guò)有效介質(zhì)近似（EMA）方法計(jì)算混合層的混合速率，并測(cè)定結(jié)晶度
光學(xué)常數(shù)分析

操作示例1：Endpoint Monitor
的Demo 1操作示例2：Endpoint Monitor的Demo 2

溫度	：設(shè)定點(diǎn)在 18 ~ 45°C 范圍內(nèi)
長(zhǎng)期變化	： ±2.0°C/24 小時(shí)或更長(zhǎng)時(shí)間（參考設(shè)定點(diǎn)）
短期變化	： ±1.0°C/1 小時(shí)×1 周期（參考設(shè)定點(diǎn)）
濕度	：45% ± 20%（無(wú)冷凝）

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