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同時(shí)測(cè)量 9 種類型的透明膜日本SHASHIN,它具有出色的可維護(hù)性，可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過(guò)程中，它可以用作在線監(jiān)視器或終點(diǎn)監(jiān)視器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），從而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的實(shí)時(shí)監(jiān)控（實(shí)時(shí)監(jiān)控）。它還可用于評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

反射涂層厚度監(jiān)測(cè)儀是一種光學(xué)干涉反射光譜涂層測(cè)厚儀，它使用微型反射探頭，可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。它具有出色的可維護(hù)性，可用于集成到工藝設(shè)備和生產(chǎn)線管理應(yīng)用中。
最多可同時(shí)測(cè)量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護(hù)性，可用作工藝設(shè)備或生產(chǎn)線管理應(yīng)用的集成。
例如，在沉積、拋光和蝕刻過(guò)程中，它可以用作在線監(jiān)視器或終點(diǎn)監(jiān)視器（終點(diǎn)檢測(cè)傳感器），從而實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的實(shí)時(shí)監(jiān)控（實(shí)時(shí)監(jiān)控）。
它還可用于評(píng)估多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

光束形狀

探針到被測(cè)樣品的距離為 30 mm 時(shí)的模擬結(jié)果

照明區(qū)域測(cè)量區(qū)域



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