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寫真化學(xué)自動(dòng)對(duì)位功能測(cè)厚儀

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SKSATO佐藤: 電阻 PH計(jì) 折光儀糖度儀水分儀雨量計(jì) 顯示器記錄儀風(fēng)速計(jì) 溫度計(jì)

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寫真化學(xué)自動(dòng)對(duì)位功能測(cè)厚儀，能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)涂層厚度映射測(cè)量

映射涂層測(cè)厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動(dòng)映射膜厚測(cè)量。自動(dòng)對(duì)位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測(cè)量。此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時(shí)管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。